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NanoPWM驱动器代替线性驱动器
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对比现有已商业化的线性驱动器，ACS的NanoPWM?驱动器有以下特点：
更高的工作电压及工作电流
更小尺寸
更好价格
对于如450mm和300mm晶圆检测设备，以及其它对高速，高加速，平滑速度和亚纳米级静止抖动有要求的应用场合，这是优异的驱动方案
应用SPiiPlus控制器和NanoPWM?驱动器来驱动一台XY平台，可以实现速度大于1米/秒，静止抖动小于±0.3纳米，在100毫米每秒速度下跟随误差为±10nm
(红色)对比线性驱动器(黄色)静止抖动
MC4U控制模块集成NanoPWMTM驱动器
MC4UNT控制模块
MC4UDC控制模块
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