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方案分享丨半导体行业—固晶机

时间:2021-12-10

来源:浙江禾川科技股份有限公司

导语:固晶是半导体行业、电子行业中封装流程的重要工序,自动固晶机是针对半导体元器件生产而设计的设备,主要是将硅基半导体晶片,粘合在以铜为材料的框架上,为后段邦线、封装做基础。

半导体

  半导体行业-固晶机

  固晶是半导体行业、电子行业中封装流程的重要工序,自动固晶机是针对半导体元器件生产而设计的设备,主要是将硅基半导体晶片,粘合在以铜为材料的框架上,为后段邦线、封装做基础。

半导体

半导体

  与其相类似的设备还有LED固晶机,不同之处在于一个设备是针对发热严重、开关要求频率高的功率半导体,另一个是针对LED这种速度要求高,工艺不复杂的LED制成。

半导体

  在应用于半导体行业的固晶设备中,LED类固晶机国产化比例最高,可以达到90%以上,IC固晶机和分立器件固晶机国产化比例较低,均不足10%,随着国内半导体产业链全自主化的强烈需求及全球疫情的双重影响,固晶机的国产化进程将会提速。

  工艺流程

半导体

  注*1:

  为了适应生产速度和产品需求,设定不同的写锡轨迹和供锡速度,将锡液写上支架。

  注*2:

  通过视觉识别纠正,移动圆晶台,选取合格的圆晶片快速的粘到写锡的支架上。

  工艺难点

  01、写锡.

  为满足生产工艺和客户需求,写锡需要对X、Y两个轴进行类似的插补动作,通过电子凸轮实现,目前支持包括,往复、方框、圆形、X交叉、Y交叉、往复方框等重要写锡轨迹。

  02、固晶.

  在保证顺利取放片的同时,又要追求速度,在取片的时候需要顶针和拾取Z轴有相互配合,保持大致的速度一致,放片时需要保持稳定。

  禾川方案

  01、Q1-1300+直线电机+X3EB伺服.

半导体

  02、方案优势

  性能指标(效率、精度等)

  生产效率:5000pcs/h。

  NG率:1.5%

  方案优势

  1. 资源调度合理,配合好,调试进度快

  2. 用户操作简单、模块独立

  3. 速度更快,生产效率更高

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